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主要產(chǎn)品130nm及以上光掩膜
5:1/4:1、SL/QZ
1:1Array光掩膜 -
生產(chǎn)速率：40Pcs/day250nm以上光掩膜25Pcs/day
130nm-250nm 光掩膜
15Pcs/day -
加工周期3~ 6小時完成圖紙?zhí)幚?br/> First 2 Pcs<2~3days
快12~24小時交付[敏感詞]塊版 -
產(chǎn)能、良率滿產(chǎn)年產(chǎn)光掩膜約14000片
整體良率：99.3%
