3D微納構(gòu)件產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于光電、光子學(xué)、生命科學(xué)等新興技術(shù)領(lǐng)域；

技術(shù)能力覆蓋60-800nm級(jí)3D光刻制程，表面處理極限精度達(dá)5nm；

華盛光刻自主建立了國(guó)內(nèi)[敏感詞]的3D光刻工藝實(shí)驗(yàn)室，助力客戶(hù)實(shí)現(xiàn)前沿科技的突破和產(chǎn)品創(chuàng)新。